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lunarey鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[交流]
【求助】請問激光的光斑一般可以達(dá)到多少，nm級別可以嗎？
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| 因?yàn)閷?shí)驗(yàn)需要，為了驗(yàn)證芯片的分辨率可以達(dá)到nm級別，需要照射光的光斑面積也是nm級別，否則無法證明最低分辨率，我查看了一些文獻(xiàn)，都是用激光加光路，構(gòu)成1um的光斑。在不需要太多復(fù)雜儀器的范圍內(nèi)，光斑是否可以更��？或者現(xiàn)在的激光光斑就可以直接達(dá)到？多謝了。祝，新年快樂。 |
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6樓2010-02-16 00:09:10
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8樓2010-02-16 08:00:26
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9樓2010-02-16 19:28:18
★ ★ ★ ★
小木蟲(金幣+0.5):給個紅包，謝謝回帖交流
dawnlight(金幣+3):3x 2010-02-17 09:17
小木蟲(金幣+0.5):給個紅包，謝謝回帖交流
dawnlight(金幣+3):3x 2010-02-17 09:17
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"為了驗(yàn)證芯片的分辨率可以達(dá)到nm級別，需要照射光的光斑面積也是nm級別，否則無法證明最低分辨率" 芯片有分辨率可言？還是說線寬問題？如果要用遠(yuǎn)場光成像，那么這種方法基本是死路一條，看看Rayleigh判據(jù)即可。是實(shí)在要走這光學(xué)成像條路的話，SNOM可能是唯一選擇。 其實(shí)呢跳出這個框框，用電鏡，豁然開朗，解決問題一般不是華山一條路，光學(xué)成像，顯微基本上是條死胡同，不要挺直了脖子去撞南墻 |
10樓2010-02-16 23:24:37
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