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lunarey鐵桿木蟲 (正式寫手)
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[交流]
【求助】請(qǐng)問(wèn)激光的光斑一般可以達(dá)到多少，nm級(jí)別可以嗎？
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| 因?yàn)閷?shí)驗(yàn)需要，為了驗(yàn)證芯片的分辨率可以達(dá)到nm級(jí)別，需要照射光的光斑面積也是nm級(jí)別，否則無(wú)法證明最低分辨率，我查看了一些文獻(xiàn)，都是用激光加光路，構(gòu)成1um的光斑。在不需要太多復(fù)雜儀器的范圍內(nèi)，光斑是否可以更��？或者現(xiàn)在的激光光斑就可以直接達(dá)到？多謝了。祝，新年快樂(lè)。 |
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3樓2010-02-14 13:45:07
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6樓2010-02-16 00:09:10
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