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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 專業(yè)學科區(qū) » 物理 » 其他交流 » 【求助】磁控濺射儀相關
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tickychao206銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】磁控濺射儀相關 已有6人參與
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今天一直在爭論一個問題： 磁控濺射儀中一次可放入6個基片，但是一天卻只能濺射2片薄膜，那么是否可以第二天直接濺射薄膜而不必重新抽真空呢？（晚上會關閉濺射儀電源） |
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FePt
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4樓2010-05-03 08:17:37
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