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futurelife銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】求助：磁控濺射問題 已有17人參與
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| 今天在我用磁控濺射直流濺射Ni靶的時候發(fā)現(xiàn)靶材能起輝，但電流電壓加到一定值時就加不上去了，而且同一電流下，電壓要比以前大很多，請問問題主要出在哪了？非常感謝 |
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2樓2010-05-18 16:56:15
jsszwutao
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3樓2010-05-18 20:16:17
futurelife
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6樓2010-05-19 15:19:32
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7樓2010-05-25 14:14:27
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小木蟲(金幣+0.5):給個紅包，謝謝回帖交流
化學(xué)小工(金幣+1):鼓勵交流 2010-05-25 22:11:38
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8樓2010-05-25 16:11:07
futurelife
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化學(xué)小工(金幣+5):這份總結(jié)很好！希望以后多來交流 2010-05-26 22:22:24
zhangquan8385: 回帖置頂 2012-01-13 16:47:51
化學(xué)小工(金幣+5):這份總結(jié)很好！希望以后多來交流 2010-05-26 22:22:24
zhangquan8385: 回帖置頂 2012-01-13 16:47:51
| 呵呵，謝謝大家回復(fù)！剛開始的時候，我也初步認定是Ni靶被氧化的事，因為每次試完就發(fā)現(xiàn)Ni靶除了被Ar離子濺射的那部分環(huán)外，其余地方都成焦黃色，測了一下成分，焦黃部分含氧，電阻也相對較大，可能就是這層氧化物導(dǎo)致荷電效應(yīng)，于是我們改用射頻靶，能起輝，但由于我們射頻靶顯示功率和反射功率的表盤出現(xiàn)問題，所以就沒法驗證了，但這氧氣從哪來呢？后來一位老師指點，說很可能是Ni靶太厚把磁場屏蔽了，能起輝很可能只是強電場所致，因此那焦黃部分也就可以做個解釋，但我們想著不可能啊，以前就是這個厚度，而且還用的好好的，現(xiàn)在為什么就不可以了，無論如何，死馬當活馬醫(yī)吧，我們就把Ni靶又分成兩塊，每塊1mm厚，結(jié)果這么一試，的確工作正常了。因此暫時可歸結(jié)為Ni靶太厚，把磁場屏蔽了，但還是有點想不通，為什么以前2mm厚就工作正常，同是Ni靶，換了一個就工作不正常了？也說不定是儀器發(fā)飆了~~~~~~~~總之，感謝大家！ |
9樓2010-05-26 10:18:23
10樓2010-05-26 10:23:19
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