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[交流]
【交流】XPS儀器廠商性能大比拼 已有2人參與
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XPS儀器廠商性能大比拼 目前主要的xps儀器生產(chǎn)廠家有： 1 。 ＵＬＶＣＡ－ＰＨＩ公司，原美國ｐｈｉｓｉｃａｌ�。澹欤澹悖簦颍铮睿椋悖蠊荆a(chǎn)品型號有：ｐｈｉ－５０００Ｖｅｒｓａｐｒｏｂｅ系列，Ｑｕａｎｔｅｒａ系列。原大名鼎鼎的美國PE公司產(chǎn)品。 主要生產(chǎn)的ｘｐｓ特點是采用聚焦ｘ射線技術(shù)，最小的ｘ－ｒａｙ光斑可以做到小于１０ｕｍ，并且具有專利的雙束電荷中和系統(tǒng)（電子束和離子束），中和效果極佳。同時，采用掃描x-ray技術(shù)可以獲得二次電子圖像，對微區(qū)定位分析很重要。但是產(chǎn)品價格高。采用聚焦x-ray技術(shù)。 2。島津公司，原來的英國ｋｒａｔｏｓ公司，又是一家被日本公司收購的儀器公司，主要代表產(chǎn)品為：kratos-ultra DLD，其特點是采用了延遲線技術(shù)（DLD），采集圖像速度特別快。同時采用浸沒透鏡技術(shù)，提高一起的靈敏度。另外，其電子云中和技術(shù)也是依靠磁浸透鏡。但是其小束斑技術(shù)信號差，對樣品垂直位置放置要求嚴格，z軸高度在（-20um~+20um）。性能雖然差一點。采用虛擬探針技術(shù)。 3。Thermal VG公司，產(chǎn)品的系列較多，K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等，主要技術(shù)特點是平行光成像技術(shù)，采用兩各不同的檢測器，一個負責采集譜圖，一個負責采集圖像，其主要缺點都是降低檢測器的有效接收面積，原因是其中一個檢測器（譜圖）被當作光柵使用。性能更差。采用虛擬探針技術(shù)。 |
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