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【交流】XPS儀器廠商性能大比拼 已有2人參與
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XPS儀器廠商性能大比拼 目前主要的xps儀器生產(chǎn)廠家有: 1 。 ULVCA-PHI公司,原美國(guó)phisical。澹欤澹悖簦颍铮睿椋悖蠊,產(chǎn)品型號(hào)有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美國(guó)PE公司產(chǎn)品。 主要生產(chǎn)的xps特點(diǎn)是采用聚焦x射線技術(shù),最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有專(zhuān)利的雙束電荷中和系統(tǒng)(電子束和離子束),中和效果極佳。同時(shí),采用掃描x-ray技術(shù)可以獲得二次電子圖像,對(duì)微區(qū)定位分析很重要。但是產(chǎn)品價(jià)格高。采用聚焦x-ray技術(shù)。 2。島津公司,原來(lái)的英國(guó)kratos公司,又是一家被日本公司收購(gòu)的儀器公司,主要代表產(chǎn)品為:kratos-ultra DLD,其特點(diǎn)是采用了延遲線技術(shù)(DLD),采集圖像速度特別快。同時(shí)采用浸沒(méi)透鏡技術(shù),提高一起的靈敏度。另外,其電子云中和技術(shù)也是依靠磁浸透鏡。但是其小束斑技術(shù)信號(hào)差,對(duì)樣品垂直位置放置要求嚴(yán)格,z軸高度在(-20um~+20um)。性能雖然差一點(diǎn)。采用虛擬探針技術(shù)。 3。Thermal VG公司,產(chǎn)品的系列較多,K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等,主要技術(shù)特點(diǎn)是平行光成像技術(shù),采用兩各不同的檢測(cè)器,一個(gè)負(fù)責(zé)采集譜圖,一個(gè)負(fù)責(zé)采集圖像,其主要缺點(diǎn)都是降低檢測(cè)器的有效接收面積,原因是其中一個(gè)檢測(cè)器(譜圖)被當(dāng)作光柵使用。性能更差。采用虛擬探針技術(shù)。 |
至尊木蟲(chóng) (職業(yè)作家)
理論與實(shí)踐相結(jié)合
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