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chenguang5895木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【交流】磁控濺射合金時(shí)，F(xiàn)ilm的成分 已有6人參與
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我現(xiàn)在用磁控濺射合金，靶材是3種金屬的合金。他們的成分比是一定的。 但是成膜后，薄膜的成分比和靶材的相差很大。 而且不同的power density，薄膜的成分比也不同。 這是為什么��？我雖然知道原因，不過好像不是很全面。還是請(qǐng)高手指點(diǎn)。 如果長期使用下去的，那么靶材的成分比會(huì)改變啊？ 請(qǐng)高手指點(diǎn)迷津啊。 |
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chenguang5895
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3樓2010-07-10 15:15:25
yjyang07
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