| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 585 | 回復(fù): 3 | ||||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖,點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | ||||
林林007銀蟲 (初入文壇)
|
[交流]
【求助】LED芯片制作 已有2人參與
|
|||
| 跪求哪位高人介紹一點(diǎn)做LED芯片的具體工藝流程資料,或者整個(gè)芯片制作的原理·······謝謝 只要有介紹相關(guān)資料的有金幣獎(jiǎng)勵(lì)哦···。 |
研究生 |
鐵桿木蟲 (文壇精英)
黑風(fēng)堂堂主-小乖豬

新蟲 (初入文壇)

金蟲 (初入文壇)
|
LED芯片制作流程分為兩大部分。首先在襯底上制作氮化鎵(CAN)基的外延片,這個(gè)過(guò)程主要是在金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積外延爐種完成的。準(zhǔn)備好制作CaN基外延片所需的材料源和各種高純的氣體之后,按照工藝的要求就可以逐步把外延片做好。常用的襯底主要有藍(lán)寶石、碳化硅和硅襯底,還有GaAs、AIN、ZnO等材料。MOCVD是利用氣相反應(yīng)物(前驅(qū)物)及Ⅲ族的有機(jī)金屬和Ⅴ族的NH3在襯底表面進(jìn)行反應(yīng),將所需的產(chǎn)物沉積在襯底表面,通過(guò)控制溫度、壓力、反應(yīng)物濃度和種類比例,從而控制鍍膜成分、晶相等品質(zhì)。MOCVD外延爐是制作LED外延片最常用的設(shè)備。 接下來(lái)是對(duì)LED PN結(jié)的兩個(gè)電極進(jìn)行加工,電極加工也是制作LED芯片的關(guān)鍵工序。包括清洗、蒸鍍、黃光、化學(xué)蝕刻、熔合、研磨;然后對(duì)LED毛片進(jìn)行劃片、測(cè)試和分選,就可以得到所學(xué)的LED芯片。如果晶片清洗不夠干凈,蒸鍍系統(tǒng)不正常,會(huì)導(dǎo)致蒸鍍出來(lái)的金屬層(指蝕刻后的電極)會(huì)有脫落,金屬層外觀變色,金泡等異常。蒸鍍過(guò)程中有時(shí)需要用彈簧夾固定晶片,因此會(huì)產(chǎn)生夾痕(在目錄必須挑除)。黃光作業(yè)內(nèi)容包括烘烤、上光阻、照相曝光、顯影等,若顯影不完全及光罩有破洞會(huì)有發(fā)光區(qū)殘多出金屬。晶片在前段制程種,各項(xiàng)制度如清洗、蒸鍍、黃光、化學(xué)蝕刻、熔合、研磨等作業(yè)都必須使用鑷子及花籃、載具等,因此會(huì)有晶粒電極刮傷情形發(fā)生! |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 354求調(diào)劑 +6 | Tyoumou 2026-03-18 | 9/450 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料 271求調(diào)劑 +5 | 展信悅_ 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +12 | 呼呼呼。。。。 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
[考研] 277材料科學(xué)與工程080500求調(diào)劑 +6 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
[考研] 材料學(xué)學(xué)碩080502 337求調(diào)劑-一志愿華中科技大學(xué) +4 | 順順順mr 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
[考研] 085601調(diào)劑 358分 +3 | zzzzggh 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | Ma_xt 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
[考研] 一志愿華南師大 070300(化學(xué))304分求調(diào)劑 +3 | 0703武芊慧雪304 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
[考研] 材料專業(yè)求調(diào)劑 +6 | hanamiko 2026-03-18 | 6/300 |
|
|
[考研] 一志愿武漢理工材料工程專碩調(diào)劑 +9 | Doleres 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑,一志愿:南京航空航天大學(xué)大學(xué) ,080500材料科學(xué)與工程學(xué)碩,總分289分 +4 | @taotao 2026-03-19 | 4/200 |
|
|
[考研] 350求調(diào)劑 +5 | weudhdk 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
[考研] 一志愿西南交通 專碩 材料355 本科雙非 求調(diào)劑 +5 | 西南交通專材355 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
[考研] 353求調(diào)劑 +3 | 拉鉤不許變 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
[考研] 材料與化工專碩調(diào)劑 +7 | heming3743 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
[考研] 一志愿中國(guó)海洋大學(xué),生物學(xué),301分,求調(diào)劑 +5 | 1孫悟空 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
[考研] 277調(diào)劑 +5 | 自由煎餅果子 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
[考研] 326求調(diào)劑 +5 | 上岸的小葡 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
[考研] 機(jī)械專碩325,尋找調(diào)劑院校 +3 | y9999 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +5 | 大米飯! 2026-03-15 | 5/250 |
|