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請(qǐng)問(wèn)有人用硅納米線作過(guò)FET么？為什么我用E-beam鋪上鈦和金作source/drain之后用萬(wàn)能表去量不導(dǎo)電？我的納米線是用AgNO3和HF在硅片上刻蝕出來(lái)的，鈦金厚度是70/80納米。

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1樓 2010-08-25 17:29:12

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Originally posted by FANYU at 2010-08-25 17:29:12:
請(qǐng)問(wèn)有人用硅納米線作過(guò)FET么？為什么我用E-beam鋪上鈦和金作source/drain之后用萬(wàn)能表去量不導(dǎo)電？我的納米線是用AgNO3和HF在硅片上刻蝕出來(lái)的，鈦金厚度是70/80納米。

謝謝

AgNO3和HF能在硅片上刻蝕硅納米線，太牛了。哪個(gè)大牛發(fā)明的？

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2樓2010-08-25 18:53:47

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3樓2010-08-25 20:52:22

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-_-!哥們學(xué)哪行的，這方法是幾年前報(bào)道的了。

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4樓2010-08-26 09:39:16

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Originally posted by lostpast at 2010-08-25 18:53:47:

AgNO3和HF能在硅片上刻蝕硅納米線，太牛了。哪個(gè)大牛發(fā)明的？

天啊，這個(gè)好像好幾年就有的嗎？

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6樓2010-08-26 10:00:09

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Originally posted by linyj632 at 2010-08-26 10:00:09:

天啊，這個(gè)好像好幾年就有的嗎？

暈，你可以去查一下，02年還是04年北大一個(gè)組發(fā)在adv material上的。

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7樓2010-08-26 10:03:35

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Originally posted by FANYU at 2010-08-26 10:03:35:

暈，你可以去查一下，02年還是04年北大一個(gè)組發(fā)在adv material上的。

北大俞大鵬老師課題組嗎？

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8樓2010-08-26 11:30:32

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Originally posted by lostpast at 2010-08-26 11:30:32:

北大俞大鵬老師課題組嗎？

這倒不記得了，只記得是北大的一個(gè)組。

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9樓2010-08-26 11:41:49

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Originally posted by FANYU at 2010-08-26 11:41:49:

這倒不記得了，只記得是北大的一個(gè)組。

服了你了！
呵呵

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10樓2010-08-26 11:52:09

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