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[交流]
【求助】求單晶Si(100)的標準衍射圖
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| 在Si(100)面上鍍膜,XRD顯示12度、35度、70度左右各有一峰,其中70度的峰遠高于前兩個度數(shù)的峰,而且查閱文獻,其標70度峰為Si(400)(他用的也是Si(100)鍍的膜),請問為什么會這樣標?而本人做的12度,35度峰,在其文獻中并未出現(xiàn),請問是否正常?~謝謝 |

木蟲 (小有名氣)
| 若X射線波長為1.15406nm時,Si晶格常數(shù)取0.5431nm(Smakula A, Kalnajs J. Precision Determination of Lattice Constants with a Geiger-Counter X-Ray Diffractometer. Physical Review ,1955, 99(6), 1737-1743.)時,粉晶XRD譜圖在(100)(200,32.96滿足4n+2)位置從理論上分析是會出現(xiàn)消光現(xiàn)象的。但用衍射儀測量Si基(100)薄膜時常觀測到(200)衍射峰。在使用X射線衍射儀測量薄膜材料時,常采用衍射儀進行掃描,一般有兩種工作方式,一種是X射線不動,樣品旋轉theta,探測器旋轉2theta ,另一種是樣品不動X射線與探測器分別以順時針和逆時針旋轉theta。由此可知,樣品中只有與基片平行的晶面才能被衍射儀測量到,這樣Si的其它衍射峰就看不到了,但為什么出現(xiàn)(200),我也不是很清楚,但應該是與Si基片為單晶片有關,測量時光線相干涉引起的。還有待高人幫助分析。 |
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