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[交流]
【交流】做厚膜，粉末化較嚴(yán)重 已有3人參與
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| 最近用熱蒸發(fā)方法沉積化合物半導(dǎo)體多晶膜，厚膜，厚度在um級別，但是現(xiàn)在的結(jié)果是表面粉末化較嚴(yán)重。但是與基片接觸的很薄部分結(jié)晶很好。有沒有大蟲做過類似的，或遇到類似的情況。小弟急切想交流，盡快弄清其原因與激勵(lì)�。�！ |
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提高真空度是主要的
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小木蟲(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
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提高真空度是主要的，襯底要平整和堅(jiān)實(shí)。或者改用濺射鍍膜。 本文來自: 小木蟲論壇 http://www.gaoyang168.com/bbs/viewthread.php?tid=2397519&fpage=3 |
5樓2010-12-17 10:32:14
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2樓2010-09-14 16:53:23
3樓2010-09-14 23:39:06
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4樓2010-09-15 13:55:09
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