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[交流]
【求助】射頻放電等離子體制備建模求助
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氬氣和硅烷的混合氣體從上端進入外徑和內徑分別為12mm和8mm的石英管中。頻率為13.56MHz,功率為100W的射頻電源通過匹配網絡加到兩個銅環(huán)上。放電氣壓保持在200Pa。離開等離子體區(qū)后,粒子進入一個膨脹的腔體,在距離等離子體區(qū)大約3cm處,粒子以粉末的形式收集在一個一個不銹鋼網上![]() 求助 高手 這個實驗過程可以建立一個模型嗎?用什么軟件建模比較好? |
等離子體方向 |
新蟲 (初入文壇)
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金蟲 (著名寫手)
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[考研] 一志愿西南交通 專碩 材料355 本科雙非 求調劑 +5 | 西南交通專材355 2026-03-19 | 5/250 |
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[考研] 261求B區(qū)調劑,科研經歷豐富 +3 | 牛奶很忙 2026-03-20 | 4/200 |
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