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yuh1984木蟲 (著名寫手)
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[交流]
【求助】In2O3靶材或者ITO靶材燒結溫度
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| 請教In2O3靶材或者ITO靶材的燒結溫度，以及壓制靶材和燒結靶材有沒有需要注意的東西 |
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小木蟲:)(金幣+5):3q 2010-10-15 22:59:36
yuh1984(金幣+10):太詳細了，很感謝！ 2010-10-15 16:00:52
小木蟲:)(金幣+5):3q 2010-10-15 22:59:36
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我沒有做過IN2O3的靶材，做得是二氧化鈦的靶材，因為不易成型，二氧化鈦需要先加粘合劑，我們加的是3%PVA(粘合劑），壓片成行會起到粘合的作用，先將二氧化鈦和PVA混合碾磨，我們機器碾磨10個小時，然后在80度下烤箱中放六個小時，然后壓片成型，成型后燒結，先以每分鐘上升10度，上升到450度，持續(xù)半個小時，去除PVA,后上升到1400度，持續(xù)兩個小時燒結. 你可以去網上搜索相關論文，肯定會有的，如果沒有，燒結完后，測試XRD,通過圖就可以判斷燒結溫度。 |
2樓2010-10-14 23:27:44
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