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apolloljy銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
【請(qǐng)教】PI表面改性 已有3人參與
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| 我采用PI-5來作為絕緣層,涂膠后按照固化程序固化并在此基礎(chǔ)上做光刻膠圖形,濺金后拿去剝離,發(fā)現(xiàn)金層全部脫落了。此前做過這樣的工藝,但是采用的濺射是20nmTi+100nmAu,這次采用的是10nmCr+100nmAu,是否是10nm的鉻不能很好粘合Au和PI層,我應(yīng)該采用更厚的鉻層?還是或者有什么方法使得PI表面改性,使其附著力和表面粗糙度都增大? |
金蟲 (初入文壇)

木蟲 (正式寫手)
銀蟲 (小有名氣)
木蟲 (正式寫手)
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