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gloria_grx新蟲 (初入文壇)
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[交流]
請問一下fluorocarbon-containing plasma的意思?
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| 請問一下大家,fluorocarbon-containing plasma的意思到底是含氟碳化合物等離子體,還是氟碳化合物涂層等離子的意思呢?謝謝~ |
鐵桿木蟲 (知名作家)

榮譽版主 (文壇精英)

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陳樂樂 朱亮 徐昕睿 李東霞 蔡輝 包大勇 Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma 《半導體學報》 2009年03期 關鍵詞:CF;SiO etching;fluorocarbon film 略覽了該文摘要,fluorocarbon-containing plasma意為“含氟碳化合物的膜”。 https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BDTX200903008.htm |
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