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gloria_grx新蟲 (初入文壇)
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[交流]
請(qǐng)問一下fluorocarbon-containing plasma的意思？
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| 請(qǐng)問一下大家，fluorocarbon-containing plasma的意思到底是含氟碳化合物等離子體，還是氟碳化合物涂層等離子的意思呢？謝謝~ |
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cfm877
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2樓2010-11-07 11:55:25
古可ぷ
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3樓2010-11-07 12:08:45
gloria_grx(金幣+1): 2010-11-13 09:17:35
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陳樂樂 朱亮 徐昕睿 李東霞 蔡輝 包大勇 Role of CF_2 in the etching of SiO_2,Si_3N_4 and Si in fluorocarbon plasma 《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》 2009年03期 關(guān)鍵詞：CF;SiO etching;fluorocarbon film 略覽了該文摘要，fluorocarbon-containing plasma意為“含氟碳化合物的膜”。 https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BDTX200903008.htm |
4樓2010-11-07 14:35:46
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