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[交流] 【求助】PMMA剖面做電鏡

請問用什么方法將PMMA片子掰開或者切開，可以不損壞剖面的納米圖形去做電鏡？非常感謝各位朋友能給我點(diǎn)建議

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snchenge8778(金幣+2): 2010-12-04 09:47:28
wandaohzl:鼓勵交流 2010-12-04 11:01:44

既然要剖開，怎么可能不破壞圖形，你是不是在PMMA表面做圖形的��？直接切開就行了。一般破壞不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是這個(gè)意思？又或者難道PMMA里面有納米圖形嗎？

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2樓2010-12-03 19:48:27

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snchenge8778(金幣+2): 2010-12-04 09:47:37
wandaohzl:鼓勵交流 2010-12-04 11:01:51

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Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-02 10:37:15:
請問用什么方法將PMMA片子掰開或者切開，可以不損壞剖面的納米圖形去做電鏡？非常感謝各位朋友能給我點(diǎn)建議

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片還是單純的PMMA材料啊。

一般經(jīng)常碰到的是電子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的納米結(jié)構(gòu)需要看SEM，觀察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和顯影等工藝參數(shù)。那樣需要技巧（而這種技巧也根據(jù)具體的情況而定，這里不知道LZ的具體情況也就不好詳細(xì)說了）或者特殊的設(shè)備，比如蒸鍍或者濺射設(shè)備蒸鍍一層金屬、用聚焦離子束即FIB來原位切（milling）出一個(gè)剖面來。

但是如果是PMMA塊材，我就沒有概念了

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3樓2010-12-03 19:56:37

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wandaohzl:鼓勵交流 2010-12-04 11:01:57

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Originally posted by solar散人 at 2010-12-03 19:48:27:
既然要剖開，怎么可能不破壞圖形，你是不是在PMMA表面做圖形的��？直接切開就行了。一般破壞不大的，SEM找可以找到局部好的。不知道你是否是這個(gè)意思？又或者難道PMMA里面有納米圖形嗎？

我PMMA表面上是做的一排排納米溝道，我用激光切割機(jī)切剖面，由于高溫PMMA片子熔融，把納米通道堵上了，看不見剖面了。

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4樓2010-12-04 09:45:44

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wandaohzl:鼓勵交流 2010-12-04 11:02:04

引用回帖:

Originally posted by quanbaogang at 2010-12-03 19:56:37:

PMMA片子？
是涂了PMMA的硅片還是單純的PMMA材料啊。

一般經(jīng)常碰到的是電子束曝光在涂有PMMA的硅片上制作的納米結(jié)構(gòu)需要看SEM，觀察剖面(cross-section)和特征尺寸以了解曝光和顯影等 ...

是單純的PMMA片子，PMMA表面上是用納米SI模具熱壓的納米溝道。

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5樓2010-12-04 09:47:02

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snchenge8778(金幣+2): 2010-12-05 09:35:13

直接刀切開就行了。我跟你做的差不多。都是用刀切開的。

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6樓2010-12-04 14:27:02

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xjajx(金幣+1): 鼓勵交流 2011-03-21 15:10:15

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Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-04 09:47:02:

是單純的PMMA片子，PMMA表面上是用納米SI模具熱壓的納米溝道。

那就用FIB切割，注意在切割之前噴金或碳！

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7樓2010-12-04 17:33:52

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你好有那么快的刀嗎？能使剖面不變形，你是用什么刀切割的？

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9樓2010-12-05 09:29:18

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Originally posted by quanbaogang at 2010-12-04 17:33:52:

那就用FIB切割，注意在切割之前噴金或碳！

你好，請問切割之強(qiáng)噴金或炭的目的是什么？

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10樓2010-12-05 09:32:40

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Originally posted by solar散人 at 2010-12-04 14:27:02:
直接刀切開就行了。我跟你做的差不多。都是用刀切開的。

我的PMMA片子1毫米厚呢，沒有那么快的刀呀

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11樓2010-12-05 09:34:41

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xjajx(金幣+1): 鼓勵交流 2011-03-21 15:10:41

呵呵，我一直以為你的樣品的圖案長度非常小沒法用刀去切割呢。
如果長度在100微米左右是沒法準(zhǔn)確地手工切的，所以可以借助設(shè)備。目前就我所知最好用聚焦離子束(FIB)了，因?yàn)檫@種技術(shù)能夠非常精確地對微納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工。
由于該技術(shù)用的原理與SEM相似，絕緣樣品會導(dǎo)致電荷積聚charging，所以需要在結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行導(dǎo)電處理。

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12樓2010-12-05 10:46:49

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Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-05 09:32:40:
你好，請問切割之強(qiáng)噴金或炭的目的是什么？

我想用掃面電鏡看納米溝道的三維結(jié)構(gòu)

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13樓2011-03-21 10:35:09

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xjajx(金幣+1): 鼓勵交流 2011-03-21 15:10:52

就是用切割玻璃的金剛石玻璃刀啊，不貴，好一點(diǎn)的二三百，差的幾十塊。當(dāng)然這種技術(shù)是比較粗糙的，如果壓印的圖案是幾百個(gè)納米，基本沒問題，如果是幾十個(gè)納米，我到是沒做過。切割的時(shí)候從硅片的反面切。不要從PMMA測切。

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14樓2011-03-21 14:21:39

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jabbawocky

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Originally posted by snchenge8778 at 2010-12-04 09:45:44:
我PMMA表面上是做的一排排納米溝道，我用激光切割機(jī)切剖面，由于高溫PMMA片子熔融，把納米通道堵上了，看不見剖面了。

表面涂上一層保護(hù)層，然后切。溝槽被保護(hù)層填充，就不會堵住了。
可以用PDMS，常溫固化48小時(shí)。切完可以直接揭掉，它和PMMA不粘。
如果斷面不光滑，可以機(jī)械拋光+離子束。

你把溝槽直接做邊兒不行嗎？

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15樓2011-04-16 01:08:39

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Originally posted by snchenge8778 at 2011-03-21 10:35:09:
我想用掃面電鏡看納米溝道的三維結(jié)構(gòu)

AFM看不好嗎？
不知道你的納米溝道怎么做的，如果是納米壓印，把圖形直接壓到材料邊兒上，不用切接能看到橫截面了
FIB可以做的很好，但是成本太高。還是想些簡單的方法把，亞微米尺度三維形貌用AFM，激光共焦都可以看了。

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16樓2011-04-16 01:13:58

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quanten8樓

2010-12-05 02:59

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