 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 570 | 回復: 2 | |||
[交流]
【請教】微納加工中掩膜與模式請教
|
|
對于微納米加工，小弟有一點不明白，在很多的加工（RIE，F(xiàn)IB ，ICP等等）都是采用掩膜曝光的方式，其中critical dimension都是由于掩膜來決定的，那么上面的模式中FIB，聚焦離子束聚焦下來又有什么用途��？個人覺得FIB 與ICP的電極應(yīng)該是很小的，我老是在兩種感覺中判斷不出來對錯，一個是critical dimension是由mask曝光后的掩膜決定的，二是critical dimension是直接由小型的探頭，尤其是FIB等聚焦離子束等直接決定的，但是要是這樣其效率就會很低。 我這里的critical dimension可以理解是最小的線寬，比如說是線的寬度，關(guān)鍵尺寸吧。 請教各位大牛不吝指教。謝謝。 |
回復此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復
-
化工學院（學院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有147人回復
-
化工學院（學院官方群）-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復
-
黑龍江大學分析化學招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復
-
紡大化工學院（官方群）-院士團隊招生-學生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復
-
溫州大學化材學院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復
-
學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
武漢紡織大學化工學院官方群-院士團隊招生-學生自由度高-10余名學生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復
-
南昌航空大學蔣華麟教授課題組招收化學、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 中科院理化所段宣明有機納米光子學課題組——飛秒激光微納加工文獻集
已經(jīng)有23人回復
- 真菌鑒定培養(yǎng)基
已經(jīng)有8人回復
- 請問 有莢膜的細菌是否比無莢膜的細菌毒性大？
已經(jīng)有4人回復
- 有哪位大俠做過微濾膜表面預涂層的��？高手們進來指點一二唄，涂層物質(zhì)，厚度
已經(jīng)有3人回復
- 微納加工中常見材料的腐蝕/刻蝕速率
已經(jīng)有124人回復
- 求助培養(yǎng)四膜蟲的問題，多謝，急
已經(jīng)有88人回復
- 跪求研究通曉生物膜和QS系統(tǒng)的高人指點一下啊
已經(jīng)有5人回復
- 【求助/交流】古細菌的細胞膜破碎（古細菌沒有細胞壁）
已經(jīng)有11人回復
- 【求助/交流】做過膜蛋白表達的看過來
已經(jīng)有12人回復
- 【求助】請指教做過微球制劑工業(yè)化的戰(zhàn)友-PLGA油相過膜粘度問題
已經(jīng)有5人回復
- 【求助】我是菜鳥，請教用ms預測微納晶體的生長情況
已經(jīng)有8人回復
- 【求助】請教：關(guān)于納濾膜的負截留現(xiàn)象��！
已經(jīng)有4人回復
» 搶金幣啦！回帖就可以得到:
-
【招聘】溫州醫(yī)科大學/附屬醫(yī)院/甌江實驗室李校堃院士團隊誠聘博士后和科研人員
+1/190
-
多通道數(shù)據(jù)采集/線性功率放大器租賃｜自動化控制實驗
+1/94
-
山東建筑大學 （市政與環(huán)境工程學院）碩士研究生招生啦 靜電紡絲纖維與鹽水分離應(yīng)用
+1/88
-
2026延安大學設(shè)施蔬菜環(huán)境調(diào)控與分子機制研究團隊團隊招收相關(guān)專業(yè)調(diào)劑研究生
+1/43
-
歡迎08開頭或部分07開頭的有緣人報考
+1/33
-
API項目尋求落地合作
+1/23
-
浙江大學光電學院、極端光學實驗室 阿秒方向 招聘科研助理2名
+1/13
-
【博士招生】南京林業(yè)大學車輛工程課題組招收26年9月入學“申請-考核制”博士研究生
+1/10
-
香港中文大學（深圳）生物智能制造方向招生-高分子功能材料、智能/仿生材料、生物材料
+1/7
-
中國地質(zhì)大學（武漢）清潔能源與資源循環(huán)團隊誠招科研助理/2026級碩士、博士生/博士后
+1/5
-
歡迎各位同學申請參加澳門大學健康科學學院的2026年夏令營，報名截止4月12號
+1/4
-
福建師范大學國家級人才團隊招收2026年博士研究生
+1/4
-
三峽大學材化學院磷硅精細化工課題組招收化學類、材料類、材料與化工類碩士
+1/4
-
杭州電子科技大學 磁電功能材料創(chuàng)新團隊 招收碩士調(diào)劑生
+1/4
-
招收從事大氣復合污染成因領(lǐng)域研究生
+1/3
-
天津醫(yī)科大學基礎(chǔ)醫(yī)學院張恒課題組博士后招聘
+1/3
-
武漢理工大學船海與能源動力工程學院劉鵬飛院士團隊博士后招聘啟事
+1/3
-
2026南京林業(yè)大學雙一流建設(shè)高校——化學工程學院招收化學/材料相關(guān)專業(yè)碩士生
+1/2
-
【MP期刊】青年編委招募開啟！加入我們，一起推動材料科學前沿
+1/2
-
易度層流質(zhì)量流量計在航空發(fā)動機壓縮空氣測試中的應(yīng)用
+1/1
★
小木蟲(金幣+0.5):給個紅包，謝謝回帖交流
xiaohunhun(金幣+5):謝謝高手指教，受益很多。 2010-12-13 08:46:07
小木蟲(金幣+0.5):給個紅包，謝謝回帖交流
xiaohunhun(金幣+5):謝謝高手指教，受益很多。 2010-12-13 08:46:07
 為什么沙發(fā)都留給我了呢，我糾結(jié)啊不知道是各位大牛不屑于回答呢還是都在忙？ 首先，肯定一下LZ對于CD的理解，兩個理解都可以說對。不過一般來說，critical dimension是特征尺寸的意思，是指器件最小的結(jié)構(gòu)的平面上某一維度上的尺寸。 一般是由掩膜版即mask決定的（LZ的第一個理解），當然像FIB和EBL這種無掩膜技術(shù)制備的微納米結(jié)構(gòu)其CD是由設(shè)計以及工藝決定的（第二個理解）。 另一方面，說mask的CD決定器件的CD又是不對的，因為現(xiàn)代的半導體FAB里采用投影式光刻，一般會用5X的浸潤式透鏡，所以器件的CD比掩膜版的CD小5X。而且目前的45納米工藝中除了投影式浸潤光刻還采用雙曝光（Double exposure or double patterning）技術(shù)這時CD更不是光刻板的CD。簡單解釋一下Double exposur(還是英文精準，翻譯一般很難達到“信、達、雅”)，即193納米光源可以制作90納米的結(jié)構(gòu)，然而，當對芯片進行45納米位移的套刻后，會產(chǎn)生一個最厚的臺階，而且其只有45納米寬。如果不好理解，可以在紙上畫一畫，先畫一個代表90納米寬的線條，然后再寬的方向上移動45納米再畫一個線條，這樣重疊起來的部分不是45納米嗎？這個解決辦法，使得人們不用在更短波長的光刻機系統(tǒng)上費多大功夫（要知道研究一個在更短波長下工作的光刻機的投入是多么的驚人！），所以應(yīng)該說這種解決方案是非常非常的amazing！ 接著，在這里糾正一下LZ的一個認識上的錯誤。就是“RIE，F(xiàn)IB ，ICP等等都是采用掩膜曝光的方式”這句話，首先應(yīng)該說語法和理解上都是錯誤的。RIE和ICP在原理上是老子和兒子的關(guān)系，長的都一樣只是一代更比一代強。FIB和他們是表親，有一定的關(guān)系但不是很像。 呵呵，扯遠了！其實RIE和ICP是利用等離子體與材料反應(yīng)來刻蝕材料，當然如果要產(chǎn)生一定的圖案就需要有選擇的刻蝕一部分保留一部分，這樣就用了掩膜MASK。但是這里的MASK和光刻的MASK不是一個東西，概念上相通（所以老外都叫MASK，中國人應(yīng)該說掩膜和掩膜板，注意這里有“板”這么個一字之差�。Ｖ劣贔IB，前面已經(jīng)提到過是一種無掩膜工藝。它是利用電磁透鏡對離子化的鎵或者氦等元素的離子進行聚焦，這種高能束能夠?qū)Σ牧袭a(chǎn)生物理轟擊達到刻蝕作用。這樣表親之間的差別就來了，首先FIB是物理刻蝕而RIE和ICP更多的是利用化學反應(yīng)使等離子體化的元素刻與被蝕材料發(fā)生反應(yīng)，且產(chǎn)生易揮發(fā)的產(chǎn)物而達到刻蝕的作用。第二點不同是，F(xiàn)IB是順序（sequence processing）的加工，而RIE和ICP是平行（parallel processing）進行的。 要說的太多了，一言難盡^..^ 改天在說吧！  |
2樓2010-12-13 04:22:45
3樓2010-12-13 08:59:33
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 xiaohunhun 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿鄭州大學，080500學碩，總分317分求調(diào)劑 +5 | 舉個栗子oi 2026-03-24 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +11 | zhn03 2026-03-25 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程，267求調(diào)劑 +16 | minht 2026-03-26 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 一志愿南昌大學324求調(diào)劑 +7 | hanamiko 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 張芳銘-中國農(nóng)業(yè)大學-環(huán)境工程專碩-298 +4 | 手機用戶 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 086502化學工程342求調(diào)劑 +6 | 阿姨復古不過 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +8 | 小木蟲085600 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +8 | 超級伊昂大王 2026-03-24 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工調(diào)劑 +10 | A-哆啦Z夢 2026-03-23 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 一志愿211，335分，0856，求調(diào)劑院校和導師 +4 | 傾____蕭 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +10 | 呼呼？~+123456 2026-03-24 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 292求調(diào)劑 +4 | 求求了收下我吧?/a> 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學碩求調(diào)劑 +4 | 崔wj 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +4 | 柚柚yoyo 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 材料與化工304求B區(qū)調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +6 | 032500 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿國科過程所081700，274求調(diào)劑 +3 | 三水研0水立方 2026-03-23 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 361求調(diào)劑 +3 | Glack 2026-03-22 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求老師收我 +3 | zzh16938784 2026-03-23 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 石河子大學（211、雙一流）碩博研究生長期招生公告 +3 | 李子目 2026-03-22 | 3/150 |
|