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ylkitty金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[交流]
【求助】咨詢(xún)非晶硅薄膜電池的制作工藝、測(cè)試等問(wèn)題
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計(jì)劃在帶有ITO電極的玻璃片上用PECVD依次沉積P型（10nm）、I型（280nm）和N型（20nm）的非晶硅薄膜形成PIN二極管結(jié)構(gòu)，然后在N型薄膜上表面濺射Al膜作為上電極。 工藝步驟比較簡(jiǎn)單，但我從來(lái)沒(méi)有做過(guò)，只是從文獻(xiàn)中了解了一些。有很多細(xì)節(jié)問(wèn)題不是特別懂，特來(lái)向大家求助： 1. ITO和P型非晶硅，以及N型非晶硅和Al之間的界面上要形成非常好的歐姆接觸電極，需要高濃度摻雜。而為了得到良好的整流特性，PIN結(jié)處的P型、N型非晶硅的摻雜濃度可能不需要太高。所以P型（10nm）、N型（20nm）非晶硅薄膜的摻雜濃度需要非常好的控制。請(qǐng)問(wèn)P型、N型非晶硅的摻雜濃度該控制在什么量級(jí)？ 2. 摻雜濃度該如何測(cè)量？書(shū)上講一般的摻雜濃度（比如>1e18）都可以用四探針?lè)y(cè)量，請(qǐng)問(wèn)對(duì)應(yīng)的儀器名稱(chēng)叫什么？ 謝謝先！ |
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4樓2011-02-26 11:04:22
ylkitty
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2樓2011-02-25 13:10:36
cord 
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小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
lpszk(金幣+3): 謝謝回帖 2011-02-26 04:37:04
ylkitty(金幣+5): 非常感謝您的建議！我就按照這兩本書(shū)好好學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)！謝謝謝謝！ 2011-02-26 10:58:28
小木蟲(chóng)(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖交流
lpszk(金幣+3): 謝謝回帖 2011-02-26 04:37:04
ylkitty(金幣+5): 非常感謝您的建議！我就按照這兩本書(shū)好好學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)！謝謝謝謝！ 2011-02-26 10:58:28
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ITO并不是理想的非晶硅太陽(yáng)電池的前電極選擇，其中的銦離子會(huì)很快擴(kuò)散到硅薄膜中，導(dǎo)致結(jié)變壞。通常都是用ITO做最后一道電極。 SnO2和ZnO是前電極的理想選擇。 你到底要的是整流還是歐姆接觸？這兩者是不同的概念，不能同一而論。 四探針只是測(cè)量材料的電導(dǎo)率，并不能告訴你摻雜濃度是多少，最接近準(zhǔn)確的摻雜濃度測(cè)量是SIMS。一般也不需要做這個(gè)昂貴的測(cè)試，一般暗電導(dǎo)率達(dá)到要求就認(rèn)為摻雜濃度足夠了。 你確實(shí)知識(shí)很空白，你的導(dǎo)師呢？怎么不指導(dǎo)你先多讀點(diǎn)文獻(xiàn)資料，多打一下理論知識(shí)再動(dòng)手實(shí)驗(yàn)�。� 理論書(shū)籍很多，不建議你看很多二道販子的書(shū)籍，都是人云亦云，錯(cuò)了都不知道。看經(jīng)典書(shū)籍， street寫(xiě)的半導(dǎo)體非晶硅書(shū)籍是最經(jīng)典的， 還有arun madan寫(xiě)的《the physics and applications of amorphous semiconductors》這本書(shū)是實(shí)驗(yàn)理論指導(dǎo)書(shū)籍，里面具體從實(shí)驗(yàn)理論講述了非晶硅電池材料和器件，非常有用。 |
3樓2011-02-26 03:24:07
ylkitty
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5樓2011-02-26 11:08:23
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