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dyh0321銀蟲 (小有名氣)
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【請(qǐng)教】退火和CVD的區(qū)別?(急！急！） 已有2人參與
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以前的認(rèn)知里，只知道CVD是鍍膜的一種方法，最近看了一些文獻(xiàn)，發(fā)現(xiàn)在管式爐中加熱，通入的氣體與爐內(nèi)的材料反應(yīng)合成新產(chǎn)物的過程也稱作CVD ,而有一些文獻(xiàn)又稱作退火（annealing），這里的氣體有的充當(dāng)反應(yīng)氣體，有的充當(dāng)保護(hù)氣體，二者是一樣的嗎？還是說有反應(yīng)的是CVD，沒反應(yīng)的就是退火呢？請(qǐng)高手指教一下！ |
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dyh0321
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2樓2011-02-28 11:42:07
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3樓2011-02-28 14:16:09
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在氬氣保護(hù)下,將鎂粉(99 % , ≤300μm) 與氧化硼(AR) 以摩爾比3 ∶1 在瑪瑙研缽中混合均勻,平鋪在氧化鋁瓷舟中并加蓋,瓷舟兩端留出通氣槽。事先將5 %摩爾分?jǐn)?shù)(相對(duì)氧化硼) 的氯化亞鐵溶于少量水,涂覆在瓷舟蓋子內(nèi)側(cè)并烘干。將裝有反應(yīng)物的瓷舟置于管式爐恒溫區(qū)中央,通入500 mL/ min 氬氣沖洗爐管數(shù)分鐘,然后固定氬氣流量50mL/ min ,升溫至1100 ℃時(shí),關(guān)閉氬氣并通入氨氣,保持氨氣流量為30～50mL/ min 。待達(dá)到1500～1600 ℃時(shí),恒溫 2h 。恒溫結(jié)束時(shí)同時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣口和排氣口,隨爐冷卻至室溫。 以上文獻(xiàn)稱作CVD。 那這里的氣化是不是指通入的氣體，氣體與原料反應(yīng)（最終生成BN），就稱為沉積？ High-quality boron nitride nanotubes were synthesized by annealing porous precursor in flowing NH3 gas at 1150◦C. The porous precursor B18Ca2(MgO)9 was produced by self-propagation high-temperature synthesis (SHS) method using Mg, B2O3, and CaB6 as the starting materials, which played an important role in synthesis of BN nanotubes in large quantities. 這篇文獻(xiàn)中也有氣體（氣化？），是氨氣和前驅(qū)物反應(yīng)生成BN，但是卻稱為退火，為什么呢？ |
4樓2011-02-28 14:43:23
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