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heartopen新蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
【求助】直流磁控濺射AlN薄膜的工藝條件，比如氮?dú)饬髁俊⒈壤�，鍍膜氣壓？？靶電壓�? 已有6人參與
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| 小弟是在讀碩士，用直流磁控濺射方法制備氮化鋁薄膜，由于是新買(mǎi)來(lái)的儀器，搞不清鍍膜的工藝條件，比如N2流量，以及N2和Ar的比例，還有鍍膜氣壓？？？靶電壓？？？ 小弟摸不準(zhǔn)，最近做了一些實(shí)驗(yàn)，鍍膜一個(gè)小時(shí)，居然幾乎沒(méi)有薄膜生長(zhǎng)，很薄的一層，做XRD測(cè)試，觀察不到衍射峰，不知道如何控制工藝條件才能生長(zhǎng)比較快？？望各位指點(diǎn)，小弟跪求�。。� |
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2樓2011-03-03 21:52:33
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