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[交流]
【求助】如何利用 MEMS技術制作參比電極,通常采用什么材料？ 已有2人參與
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各位前輩，大俠，版主。 本人剛接觸電化學檢測不久，想基于MEMS技術制作一個葡萄糖傳感器，是基于檢測過氧化氫原理的。 查了一些文獻，在制作的時候， 初步計劃工作電極和對電極用鉑 pt 或者金Au。 這兩種電極可以利用濺射或者蒸發(fā)等方法在硅片上制作出來。 可是，參比電極用什么材料呢？ 也可以用pt嗎？這樣對加工來說應為是同一種材料最方便了。 如果不行的話，看到有文獻用Ag/AgCl 做參比電極。那在硅片上怎樣制作Ag/AgCl 參比電極呢？是濺射一層Ag材料嗎？ 還看到一些國外的文獻有用pt 工作電極，pt對電極 和Ir/Irox 作為三電極的。也行嗎？Ir/Irox 參比電極 是制作一層Ir （銥）金屬嗎？ 本人挺迷惑的，謝謝各位前輩了。 |
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2樓2011-04-05 23:10:22
3樓2019-03-12 09:20:14
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