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[交流]
有用“沈陽科儀的JGP-450A型高真空磁控濺射系統(tǒng)”的?請進來討論 已有6人參與
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| 我是新手,剛開始做實驗,用的是“中科院沈陽科儀的JGP-450A型高真空磁控濺射系統(tǒng)”來鍍膜,機器的氣路系統(tǒng)有兩路,流量控制為一路100sccm,一路200sccm。當我分別通入兩種氣體時發(fā)現(xiàn)有一路是有小數(shù)點顯示,另一路卻沒有,這是怎么回事?我又要怎么控制兩路氣體的流量比呢? |
木蟲 (正式寫手)
木蟲 (正式寫手)
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