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rulerskp金蟲 (小有名氣)
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做磁控濺射的朋友請(qǐng)進(jìn)
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| 跪求高手賜教，磁控濺射過(guò)程中入射離子能量是如何計(jì)算的？比如采用Ar作為工作氣體，此時(shí)Ar+到達(dá)靶材表面的能量是如何計(jì)算？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
rulerskp(金幣+5): 謝謝，我看看 2011-07-20 08:14:20
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如果硬要說(shuō)的很具體的話，能量跟基體的電壓和沉積過(guò)程中的等離子體的電勢(shì)有關(guān)系（差值），不介意的話，我給你看一下我的一篇文章。 http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S0040609009008633 |
6樓2011-07-19 10:02:29
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