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[交流]
有用“沈陽科儀的JGP-450A型高真空磁控濺射系統(tǒng)”的？請進來討論 已有6人參與
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| 我是新手，剛開始做實驗，用的是“中科院沈陽科儀的JGP-450A型高真空磁控濺射系統(tǒng)”來鍍膜，機器的氣路系統(tǒng)有兩路，流量控制為一路100sccm，一路200sccm。當我分別通入兩種氣體時發(fā)現(xiàn)有一路是有小數(shù)點顯示，另一路卻沒有，這是怎么回事？我又要怎么控制兩路氣體的流量比呢？ |
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wydmhy
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4樓2011-04-07 18:50:35
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