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xmcxbjh金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】LPCVD制備多晶硅薄膜及表征中的問題！ 已有2人參與
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1.用LPCVD法制備多晶硅薄膜時，我用20PA；通了硅烷，一會后壓強(qiáng)突然發(fā)生改變，我就把壓強(qiáng)調(diào)回來；一會后壓強(qiáng)又突然改變，我又把壓強(qiáng)調(diào)回來；我的總的鍍膜時間設(shè)定為0.5小時，但在這種情況下，20PA時鍍膜的時間肯定不準(zhǔn)確！ 有誰也出現(xiàn)過這種情況的啊？請高手指點�。� 2.在測方塊電阻時，我用的直線型四探針，可是每次探針只要和樣品一接觸，電流就從0變成正數(shù)；如果忽略這個問題，輸出電壓經(jīng)常會是負(fù)的，而且和電流大小沒有關(guān)系！ 請高手指點��！ 3.多晶硅和單晶硅的電阻率誰大誰小��？ 4.大家測方塊電阻都是怎么測�。磕芎唵握f下步驟么？ 上述問題請高手作答，我會自己手工發(fā)放金幣！ 泣謝！ |
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lijunjie84
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2樓2011-04-07 23:54:56
| 謝�。。。。。。。。。。�！ |
3樓2011-04-08 12:20:01
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