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永遠(yuǎn)愛家的YY金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】XPS能定量測(cè)涂層中Ti、C、N、O的成分嗎? 已有5人參與
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XPS能定量測(cè)涂層中Ti、C、N、O的成分嗎?結(jié)果精確嗎? 能直接讀取結(jié)果還是要根據(jù)譜線再分析計(jì)算? [ Last edited by 永遠(yuǎn)愛家的YY on 2011-4-12 at 19:14 ] |
薄膜器件的制備與表征 | 硬質(zhì)合金涂層 |

至尊木蟲 (著名寫手)

金蟲 (小有名氣)

至尊木蟲 (著名寫手)

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XPS,AES均是表面成分分析常用手段,適用除H He外的元素分析。均是物質(zhì)波轟擊材料產(chǎn)生的電子能譜。一般都會(huì)同時(shí)產(chǎn)生俄歇電子和X光電子,因?yàn)榧ぐl(fā)的俄歇電子和光電子是競(jìng)爭關(guān)系,所以XPS和AES也是相對(duì)的關(guān)系,常結(jié)合起來分析。XPS適用較重元素,AES較輕元素。但是兩者測(cè)試精度實(shí)在有限,0.1%就很不錯(cuò)了。據(jù)說XPS準(zhǔn)確度高于AES。 PS: XRF是什么?? |

金蟲 (正式寫手)
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