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永遠(yuǎn)愛家的YY金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【求助】XPS能定量測涂層中Ti、C、N、O的成分嗎？ 已有5人參與
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XPS能定量測涂層中Ti、C、N、O的成分嗎？結(jié)果精確嗎？ 能直接讀取結(jié)果還是要根據(jù)譜線再分析計(jì)算？ [ Last edited by 永遠(yuǎn)愛家的YY on 2011-4-12 at 19:14 ] |
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 薄膜器件的制備與表征 | 硬質(zhì)合金涂層 |
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永遠(yuǎn)愛家的YY
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3樓2011-04-12 22:24:57
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4樓2011-04-13 11:00:02
XPS,AES
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XPS,AES均是表面成分分析常用手段，適用除H He外的元素分析。均是物質(zhì)波轟擊材料產(chǎn)生的電子能譜。一般都會(huì)同時(shí)產(chǎn)生俄歇電子和X光電子，因?yàn)榧ぐl(fā)的俄歇電子和光電子是競爭關(guān)系，所以XPS和AES也是相對的關(guān)系，常結(jié)合起來分析。XPS適用較重元素，AES較輕元素。但是兩者測試精度實(shí)在有限，0.1%就很不錯(cuò)了。據(jù)說XPS準(zhǔn)確度高于AES。 PS: XRF是什么？？ |
5樓2011-04-13 11:51:50
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