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木蟲(chóng) (正式寫手)

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[求助] 做等離子體物理的進(jìn)

我的實(shí)驗(yàn)課題是PECVD技術(shù)制備碳納米管。在實(shí)驗(yàn)中，采用氫氣、氮?dú)饣旌蠚怏w的等離子體（射偏電源激發(fā)）刻蝕鍍?cè)诠杌咨系逆嚤∧�，使鎳薄膜裂解為納米顆粒。以下是我不明白的幾個(gè)問(wèn)題，想向您求助。

1.在等離子體中主要存在的氫氣、氮?dú)獾姆肿�，還是氮?dú)渥杂苫c氫離子、電子？他們哪個(gè)對(duì)刻蝕起主要作用？具體是怎么作用的��？

2.刻蝕過(guò)程是單純的物理濺射還是離子增強(qiáng)的等離子體刻蝕？

3.如何分析各種成分的刻蝕速率？能否套用氟刻蝕硅的模式，離子的質(zhì)量與離子能量決定刻蝕速率？

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1樓 2011-04-18 22:51:35

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211031947

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nono2009(金幣+1): 代發(fā)獎(jiǎng)勵(lì) 2011-10-22 12:22:34

建議先看看《等離子體放電處理與材料原理》這本書，說(shuō)的比較詳細(xì)。
另：玩氫氣的，小心些為好。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

做人要低調(diào)。

2樓2011-04-18 23:21:20