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[求助]
鐵電薄膜底電極的熱處理？
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| 各位大神，我做的是PZT鐵電薄膜，由于實(shí)驗(yàn)條件所限，底電極一組是濺射的Cu，一組是噴的Au，文獻(xiàn)里說(shuō)底電極要做熱處理，但是沒(méi)提到過(guò)Cu電極的熱處理，Au的熱處理也很少，而且文獻(xiàn)里的Au電極也是濺射的或者是蒸鍍的，我們沒(méi)這個(gè)條件。請(qǐng)問(wèn)一下，底電極如果不進(jìn)行熱處理對(duì)鐵電薄膜的電性能有何影響，求解釋和文獻(xiàn)都行？？？各位大神幫幫忙啊。。。。。O(∩_∩)O謝謝 |
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8樓2012-03-05 19:51:39
mse507
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3樓2011-04-22 19:11:39
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4樓2011-07-06 20:12:10
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5樓2011-08-05 20:03:29
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