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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 交流互助 » 鐵電薄膜底電極的熱處理？
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[求助]
鐵電薄膜底電極的熱處理？
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| 各位大神，我做的是PZT鐵電薄膜，由于實驗條件所限，底電極一組是濺射的Cu，一組是噴的Au，文獻里說底電極要做熱處理，但是沒提到過Cu電極的熱處理，Au的熱處理也很少，而且文獻里的Au電極也是濺射的或者是蒸鍍的，我們沒這個條件。請問一下，底電極如果不進行熱處理對鐵電薄膜的電性能有何影響，求解釋和文獻都行？？？各位大神幫幫忙啊。。。。。O(∩_∩)O謝謝 |
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luran1217
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5樓2011-08-05 20:03:29
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