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benxiaohaimo金蟲 (小有名氣)
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[求助]
EDS測量深度
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| 有沒有誰知道用場發(fā)射掃描電鏡配合使用的EDS測量深度是多少,可以測量多少深度及以上元素? |

金蟲 (小有名氣)
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EDS實際上是利用電子束激發(fā)樣品的特征X射線來進行元素分析,一般激發(fā)深度為0.5微米至5微米深度?梢赃M行元素的定性和定量分析,有專門用于元素分析的電子探針(EPMA),也可以作為SEM和TEM的附件,在觀察樣品形貌的同時進行元素分析。EDS做高精度定量不太合適。 |

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