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benxiaohaimo

金蟲 (小有名氣)

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[求助] EDS測量深度

有沒有誰知道用場發(fā)射掃描電鏡配合使用的EDS測量深度是多少，可以測量多少深度及以上元素？

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開心每一天

1樓 2011-05-08 10:21:36

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

superman.hit

金蟲 (小有名氣)

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shecf(金幣+1): 謝謝解答！ 2011-05-08 16:21:49
benxiaohaimo(金幣+15): 謝謝你，我之前在另外一個網(wǎng)站看到過這個了，不過還是給你金幣吧 2011-05-11 11:21:21
zhaohaixing: 回答很仔細(xì)，歡迎常來這個版塊交流~ 2011-05-12 18:15:48

EDS實際上是利用電子束激發(fā)樣品的特征X射線來進行元素分析，一般激發(fā)深度為0.5微米至5微米深度�？梢赃M行元素的定性和定量分析，有專門用于元素分析的電子探針（EPMA），也可以作為SEM和TEM的附件，在觀察樣品形貌的同時進行元素分析。EDS做高精度定量不太合適。

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回復(fù)此樓

Superman

2樓2011-05-08 16:08:00

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