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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 陶瓷材料 » 薄膜退火問題
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qgmeng2005金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜退火問題
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| RT，我采用磁控濺射陶瓷靶材制備薄膜，薄膜厚度在幾個微米左右，但是900-1000℃退火之后只有500nm左右，而且薄膜平整，XRD測試也沒有衍射峰形成晶型。請問可能是什么原因呢 |
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Tommy8726
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3樓2011-05-14 10:32:08
mse507
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4樓2011-05-15 13:19:25
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