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564516276新蟲 (初入文壇)
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[求助]
薄膜頂電極如何制備？
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我是做多鐵薄膜的，想測(cè)其電性能？想請(qǐng)教一些頂電極的問題？多謝賜教。 1、頂電極一定要用Pt嗎？用銅、銀或其他可不可以？ 2、頂電極一定要做成點(diǎn)狀嗎？可不可以和底電極一樣弄成膜狀？ 3、怎樣把頂電極做成點(diǎn)狀？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制備的，還是可以直接購買？只好頂電極后該掩模板可需除去？怎么除去？ 4、頂電極可不可以由鐵電測(cè)試處鍍上去？還是必須自己鍍？ 5、頂電極只能用磁控濺射法鍍上去嗎？可以用電烙鐵鍍么？ 6、磁控濺射的條件是？可否具體些？ 7、在哪買pt靶材？聯(lián)系方式？?jī)r(jià)格？ 無論回答哪一問都十分感謝。 |
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guody
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
shecf(金幣+5): 謝謝參與交流~ 2011-05-28 08:24:21
shecf(金幣+5): 謝謝參與交流~ 2011-05-28 08:24:21
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1、頂電極一定要用Pt嗎？用銅、銀或其他可不可以？ 我用過Pt, Au，Cu做點(diǎn)電極，其中Cu容易氧化，制備后不能熱處理，而且必須馬上測(cè)試性能，否則就氧化了；至于Ag的話，用在陶瓷上的有過。 2、頂電極一定要做成點(diǎn)狀嗎？可不可以和底電極一樣弄成膜狀？ 從理論上來說，可以做成膜，但是有個(gè)前提，你要保證你的薄膜質(zhì)量非常高：不存在厚度不均，不存在裂縫，孔洞等缺陷；否則你的厚度怎么來算？這也是選擇點(diǎn)電極的原因。 3、怎樣把頂電極做成點(diǎn)狀？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制備的，還是可以直接購買？只好頂電極后該掩模板可需除去？怎么除去？ 直接購買，制備好頂電極后，把掩模板拿下來即可。這個(gè)不是光刻。 4、頂電極可不可以由鐵電測(cè)試處鍍上去？還是必須自己鍍？ ？ 5、頂電極只能用磁控濺射法鍍上去嗎？可以用電烙鐵鍍么？ 你很厲害，估計(jì)你的膜也很強(qiáng)。 |
3樓2011-05-27 20:48:04
silveruranus
鐵蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★
564516276(金幣+5): O(∩_∩)O謝謝，很詳細(xì) 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金幣+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
564516276(金幣+5): O(∩_∩)O謝謝，很詳細(xì) 2011-05-27 22:04:09
zhaohaixing(金幣+4): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:39:46
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1、頂電極一定要用Pt嗎？用銅、銀或其他可不可以？ Au也可以，其他的我沒有用過，Cu易氧化吧，Ag或許可以，我不清楚 2、頂電極一定要做成點(diǎn)狀嗎？可不可以和底電極一樣弄成膜狀？ 最好點(diǎn)狀，并且越小越好。大了Leakage大，或者易Breakdown 3、怎樣把頂電極做成點(diǎn)狀？如果使用掩模版，那么掩模版是怎么制備的，還是可以直接購買？只好頂電極后該掩模板可需除去？怎么除去？ 掩膜板可以購買，你到網(wǎng)上找做蝕刻的定做就行了。也可自己找個(gè)銅片用針扎，就是面積不準(zhǔn)  4、頂電極可不可以由鐵電測(cè)試處鍍上去？還是必須自己鍍？ 頂電極要自己在測(cè)試之前做。 5、頂電極只能用磁控濺射法鍍上去嗎？可以用電烙鐵鍍么？ 一般用濺射。電烙鐵怎么搞不知道。   6、磁控濺射的條件是？可否具體些？ 忘記了，設(shè)備間或許不同。 7、在哪買pt靶材？聯(lián)系方式？?jī)r(jià)格？ Google。 |
2樓2011-05-27 17:27:27
564516276
新蟲 (初入文壇)
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4樓2011-05-27 22:08:03
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zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:40:00
zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-27 19:40:00
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5樓2011-06-27 11:05:32
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