 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3219 | 回復(fù): 7 | |||
[求助]
e-beam lithography設(shè)備
|
|
最近看文獻(xiàn)中會(huì)經(jīng)常用到e-beam lithograph技術(shù)來(lái)在Si片pattern 其中會(huì)用到e-beam exposure， 請(qǐng)問(wèn)大家這一步用什么樣的設(shè)備來(lái)實(shí)現(xiàn)呢 用傳統(tǒng)的SEM的電子束可以嗎？ 有個(gè)疑問(wèn)就是如果需要e-beam exposure某些區(qū)域獲得特殊的形狀 那最初用SEM在掃描整體獲得圖像時(shí) 那樣品不是已經(jīng)都被e-beam照射過(guò)了嗎？ 謝謝大家�。�！ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 我喜愛(ài)的材料類書籍 |
» 猜你喜歡
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長(zhǎng)_擅長(zhǎng)學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有152人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有24人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 基因測(cè)序領(lǐng)域Walkman：迷你型基因檢測(cè)設(shè)備MinION發(fā)布
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 我需要做金屬材料的電化學(xué)腐蝕測(cè)試，需要哪些設(shè)備，如何測(cè)試？
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 地鐵站空調(diào)系統(tǒng)換熱設(shè)備強(qiáng)化換熱研究，報(bào)哪個(gè)口合適？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- P-E曲線和C-V曲線是一樣的嗎？？有什么不同？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 如何選擇適合的攪拌槳？
已經(jīng)有7人回復(fù)
xjajx
至尊木蟲 (著名寫手)
- MN-EPI: 4
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 貴賓: 1.796
- 金幣: 10465.4
- 散金: 992
- 紅花: 46
- 沙發(fā): 5
- 帖子: 1967
- 在線: 495.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 1134415
- 注冊(cè): 2010-10-29
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
2樓2011-06-03 20:05:54
terav
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 95.9
- 帖子: 15
- 在線: 9.3小時(shí)
- 蟲號(hào): 886018
- 注冊(cè): 2009-10-28
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
★
xjajx(金幣+1): 2011-06-04 17:20:16
wprison(金幣+5): 謝謝交流，第二個(gè)問(wèn)題還是不太明白 能再詳細(xì)點(diǎn)嗎 那SEM獲得圖像時(shí)的整體曝光不會(huì)影響后面的pattern嗎？ 2011-06-06 17:29:42
xjajx(金幣+1): 2011-06-04 17:20:16
wprison(金幣+5): 謝謝交流，第二個(gè)問(wèn)題還是不太明白 能再詳細(xì)點(diǎn)嗎 那SEM獲得圖像時(shí)的整體曝光不會(huì)影響后面的pattern嗎？ 2011-06-06 17:29:42
|
做這個(gè)的機(jī)器一般叫ebeam writer，電子束曝光機(jī)。國(guó)內(nèi)很多的大學(xué)研究所都有，你自己隨便google一下就知道了。 1）你的第一個(gè)問(wèn)題，可以用SEM的機(jī)器來(lái)做嗎？答案是可以的，不過(guò)需要額外裝第三方的軟件來(lái)控制電子束。 2）你的第二個(gè)問(wèn)題，就是用SEM來(lái)看的時(shí)候是不是就已經(jīng)曝光了。對(duì)，SEM是電子束掃描視場(chǎng)里的每一行然后生成圖像。但是，光刻模式并不是每一行都掃描，而是利用軟件來(lái)控制哪里掃描哪里不掃描，相應(yīng)的也就形成了圖形。 具體的可以google一些電子束曝光的基本原理，流程看看。 |
3樓2011-06-04 00:49:33
terav
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 95.9
- 帖子: 15
- 在線: 9.3小時(shí)
- 蟲號(hào): 886018
- 注冊(cè): 2009-10-28
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
★
yingli09(金幣+1): 謝謝參與交流！ 2011-06-12 16:56:49
yingli09(金幣+1): 謝謝參與交流！ 2011-06-12 16:56:49
|
這么說(shuō)吧，寫pattern的時(shí)候就不會(huì)整體曝光了。pattern的形狀由你之前設(shè)計(jì)決定。機(jī)器根據(jù)你的設(shè)計(jì)文件把你的pattern轉(zhuǎn)移到光刻膠上。 Lithography和SEM的兩種方式是完全不同的模式，根本就不會(huì)在一個(gè)wafer先做這個(gè)再做那個(gè)。所以，基本上不存在先做哪個(gè)對(duì)另一個(gè)的影響。 |
4樓2011-06-08 01:08:42
apolloljy
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 90.2
- 散金: 5
- 帖子: 94
- 在線: 41小時(shí)
- 蟲號(hào): 928860
- 注冊(cè): 2009-12-15
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機(jī)械系統(tǒng)
【答案】應(yīng)助回帖
★
yingli09(金幣+1): 謝謝參與交流！ 2011-06-12 16:57:01
yingli09(金幣+1): 謝謝參與交流！ 2011-06-12 16:57:01
|
我回答一下第二個(gè)和第三個(gè)問(wèn)題吧 使用常規(guī)商用電子顯微鏡也可以實(shí)現(xiàn)電子束曝光，但是需要在原有電鏡基礎(chǔ)上添加一些組件才可以。國(guó)內(nèi)外在上個(gè)世紀(jì)70年代開始就有人研究了，設(shè)備好的話現(xiàn)在也可以達(dá)到和商用電子束曝光系統(tǒng)差不多的精度。 正常說(shuō)來(lái)在曝光系統(tǒng)中是有一個(gè)工件臺(tái)的，你所要曝光的樣品的位置是精確得知的，此外在樣品上還需預(yù)先設(shè)置好幾個(gè)標(biāo)記，這幾個(gè)標(biāo)記上的膠就是用來(lái)犧牲的，通過(guò)這幾個(gè)標(biāo)記定位了之后，電子束就只在需要曝光的時(shí)候進(jìn)行對(duì)樣品的掃描，否則可以控制其不進(jìn)行掃描，這樣就不會(huì)造成對(duì)樣品的破壞了。 |
5樓2011-06-11 16:09:40
大水杯
木蟲 (著名寫手)
小蟲
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 3889.1
- 散金: 1233
- 紅花: 109
- 帖子: 2898
- 在線: 864.9小時(shí)
- 蟲號(hào): 1501401
- 注冊(cè): 2011-11-20
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機(jī)械系統(tǒng)
6樓2012-02-08 17:01:15
7樓2014-06-19 17:55:15
8樓2014-06-19 17:57:38
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 wprison 的主題更新
| 8 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿南京理工大學(xué)085701資源與環(huán)境302分求調(diào)劑 +5 | 葵梓衛(wèi)隊(duì) 2026-03-18 | 7/350 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 328求調(diào)劑 +4 | LHHL66 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 263求調(diào)劑 +6 | yqdszhdap－ 2026-03-22 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 北科281學(xué)碩材料求調(diào)劑 +8 | tcxiaoxx 2026-03-20 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 環(huán)境學(xué)碩288求調(diào)劑 +6 | 皮皮皮123456 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 324求調(diào)劑 +6 | lucky呀呀呀鴨 2026-03-20 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿 西北大學(xué) ，070300化學(xué)學(xué)碩，總分287，雙非一本，求調(diào)劑。 +3 | 晨昏線與星海 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 260求調(diào)劑 +3 | 朱芷琳 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 269專碩求調(diào)劑 +6 | 金恩貝 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 286分人工智能專業(yè)請(qǐng)求調(diào)劑愿意跨考！ +4 | lemonzzn 2026-03-17 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 一志愿深大，0703化學(xué)，總分302，求調(diào)劑 +4 | 七月-七七 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 266求調(diào)劑 +3 | 哇呼哼呼哼 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料工程（專）一志愿985 初試335求調(diào)劑 +3 | hiloiy 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿華南師大 070300（化學(xué)）304分求調(diào)劑 +3 | 0703武芊慧雪304 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +9 | 何潤(rùn)采123 2026-03-18 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 材料學(xué)碩297已過(guò)四六級(jí)求調(diào)劑推薦 +11 | adaie 2026-03-19 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 一志愿西南交通 專碩 材料355 本科雙非 求調(diào)劑 +5 | 西南交通專材355 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0856調(diào)劑，是學(xué)校就去 +8 | sllhht 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料考研調(diào)劑 +3 | xwt。 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[碩博家園] 湖北工業(yè)大學(xué) 生命科學(xué)與健康學(xué)院-課題組招收2026級(jí)食品/生物方向碩士 +3 | 1喜春8 2026-03-17 | 5/250 |
|