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c.hen411金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
求助類(lèi)金剛石薄膜的PECVD中的問(wèn)題
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| 各位大蝦：我是做用等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD)做類(lèi)金剛石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2對(duì)薄膜的刻蝕很?chē)?yán)重，現(xiàn)在有一新想法，就是先同CO2/H2氣體放電，沉積一段時(shí)間，然后在輝光放電時(shí)在通入CH4和N2，請(qǐng)問(wèn)能否在輝光放電時(shí)，通入其他氣體，這樣做能否行通。會(huì)對(duì)原本穩(wěn)定的輝光放電產(chǎn)生什么后果？？急急急！ |
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lxh419
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【答案】應(yīng)助回帖
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c.hen411(金幣+5): 好的謝謝��！這回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
c.hen411(金幣+5): 好的謝謝��！這回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
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一些PECVD通常先通入Ar等氣體放電，讓后再通入反應(yīng)氣體。這樣做一是利于放電，二是促進(jìn)氣體反應(yīng)。 是故，個(gè)人認(rèn)為你的想法可行。 一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)放電已經(jīng)穩(wěn)定后，再通入氣體會(huì)對(duì)放電產(chǎn)生影響的。 比如：擊穿電壓改變（化合物的擊穿電壓較高），當(dāng)然和通入氣體種類(lèi)和比例密切相關(guān)。 考慮到一般所加電壓（功率）較大，故不會(huì)導(dǎo)致放電熄滅等現(xiàn)象。 估計(jì)通入CH4和N2后，輝光放電由穩(wěn)定→不穩(wěn)定→穩(wěn)定。 LZ可大膽嘗試！  |
2樓2011-06-10 15:54:58
周小龍
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3樓2011-07-16 07:49:49
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
4樓2014-06-25 08:24:40
公主-沙礫
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5樓2015-02-05 16:55:13
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