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c.hen411金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助類金剛石薄膜的PECVD中的問題
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| 各位大蝦：我是做用等離子體化學(xué)氣相沉積（PECVD)做類金剛石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2對薄膜的刻蝕很嚴重，現(xiàn)在有一新想法，就是先同CO2/H2氣體放電，沉積一段時間，然后在輝光放電時在通入CH4和N2，請問能否在輝光放電時，通入其他氣體，這樣做能否行通。會對原本穩(wěn)定的輝光放電產(chǎn)生什么后果？？急急急！ |
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公主-沙礫
新蟲 (初入文壇)
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5樓2015-02-05 16:55:13
lxh419
金蟲 (正式寫手)
獨孤求敗
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- 專業(yè): 等離子體物理
【答案】應(yīng)助回帖
★
c.hen411(金幣+5): 好的謝謝啊！這回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
c.hen411(金幣+5): 好的謝謝啊！這回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金幣+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
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一些PECVD通常先通入Ar等氣體放電，讓后再通入反應(yīng)氣體。這樣做一是利于放電，二是促進氣體反應(yīng)。 是故，個人認為你的想法可行。 一般來說，當放電已經(jīng)穩(wěn)定后，再通入氣體會對放電產(chǎn)生影響的。 比如：擊穿電壓改變（化合物的擊穿電壓較高），當然和通入氣體種類和比例密切相關(guān)。 考慮到一般所加電壓（功率）較大，故不會導(dǎo)致放電熄滅等現(xiàn)象。 估計通入CH4和N2后，輝光放電由穩(wěn)定→不穩(wěn)定→穩(wěn)定。 LZ可大膽嘗試！  |
2樓2011-06-10 15:54:58
周小龍
木蟲 (正式寫手)
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3樓2011-07-16 07:49:49
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4樓2014-06-25 08:24:40
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