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coraldevil銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅納米線生長實驗平臺搭建的問題
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| 我想用管式爐高溫的那種CVD方法做納米線，我看文獻中大多是用稀釋的硅烷氣體做前軀體，但是這種氣體聽說很危險啊， 遇空氣即燃的，那這該怎么搞啊，把用載氣稀釋的硅烷通入高溫管式爐，那尾氣該怎么辦啊，糾結(jié)... |
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姚木蘭2樓2011-06-23 04:01:56
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看到這么多金幣，就多提供點信息 一般的硅烷就是用He稀釋，一般2%或者5%左右，可以用MFC來控制流量，然后通過密閉的管道到加熱的石英管中反映，壓力可以用pressure controller控制，然后尾氣用pump抽走，，一定要搭好系統(tǒng)，檢測氣密性后才做，比較危險 |
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3樓2011-06-24 11:05:19
coraldevil
銅蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 67.5
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- 在線: 45.2小時
- 蟲號: 1260942
- 注冊: 2011-04-10
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
4樓2011-06-24 18:53:38
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6樓2012-02-20 09:35:27
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