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coraldevil銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
硅納米線生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)搭建的問(wèn)題
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| 我想用管式爐高溫的那種CVD方法做納米線，我看文獻(xiàn)中大多是用稀釋的硅烷氣體做前軀體，但是這種氣體聽(tīng)說(shuō)很危險(xiǎn)啊， 遇空氣即燃的，那這該怎么搞啊，把用載氣稀釋的硅烷通入高溫管式爐，那尾氣該怎么辦啊，糾結(jié)... |
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姚木蘭2樓2011-06-23 04:01:56
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看到這么多金幣，就多提供點(diǎn)信息 一般的硅烷就是用He稀釋，一般2%或者5%左右，可以用MFC來(lái)控制流量，然后通過(guò)密閉的管道到加熱的石英管中反映，壓力可以用pressure controller控制，然后尾氣用pump抽走，，一定要搭好系統(tǒng)，檢測(cè)氣密性后才做，比較危險(xiǎn) |
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3樓2011-06-24 11:05:19
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