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ming198787銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于電鏡測試的問題
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不是很理解為什么一般的Tem分辨率都要比Sem高‘ sem的原理應(yīng)該是把電子束先聚焦成很小的斑然后去掃面樣品,應(yīng)該可以把電子聚得很小啊,而且其分辨率是直接由這個(gè)斑的大小決定的吧,怎么分辨率還是不高呢 |
金蟲 (小有名氣)
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TEM觀察分辨率依據(jù)瑞利判據(jù)可以和電子波長相關(guān),波長越短分辨率越高。SEM分辨率和波長關(guān)系不大,證據(jù)很明顯,頂級FE-SEM 0.1Kev能量電子束,獲得分辨率,與普通W燈絲SEM,30Kev能量電子束分辨率相當(dāng),所以當(dāng)很多人告訴你,掃描電鏡分辨率隨著加速電壓提高而提高的原因是,加速電壓越高,電子波長越短,分辨率越高,這個(gè)說法用在TEM上沒錯(cuò),用在SEM上等于胡說。掃描電鏡分辨率根本限制因素圖像的信噪比。 冒昧的在本站給個(gè)鏈接,來說明樓主的問題。 掃描電子顯微鏡之--分辨率限度的影響因素 http://coxem2010.blog.163.com/bl ... 757201052625545904/ |
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