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ming198787銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于電鏡測(cè)試的問題
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不是很理解為什么一般的Tem分辨率都要比Sem高‘ sem的原理應(yīng)該是把電子束先聚焦成很小的斑然后去掃面樣品，應(yīng)該可以把電子聚得很小啊，而且其分辨率是直接由這個(gè)斑的大小決定的吧，怎么分辨率還是不高呢 |
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tianq04
金蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 核技術(shù)及其應(yīng)用
2樓2011-06-24 22:12:25
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Missile521(金幣+1): 鼓勵(lì)回帖交流！ 2011-06-26 08:02:23
Missile521(金幣+1): 鼓勵(lì)回帖交流！ 2011-06-26 08:02:23
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TEM觀察分辨率依據(jù)瑞利判據(jù)可以和電子波長(zhǎng)相關(guān)，波長(zhǎng)越短分辨率越高。SEM分辨率和波長(zhǎng)關(guān)系不大，證據(jù)很明顯，頂級(jí)FE-SEM 0.1Kev能量電子束，獲得分辨率，與普通W燈絲SEM,30Kev能量電子束分辨率相當(dāng)，所以當(dāng)很多人告訴你，掃描電鏡分辨率隨著加速電壓提高而提高的原因是，加速電壓越高，電子波長(zhǎng)越短，分辨率越高，這個(gè)說法用在TEM上沒錯(cuò)，用在SEM上等于胡說。掃描電鏡分辨率根本限制因素圖像的信噪比。 冒昧的在本站給個(gè)鏈接，來說明樓主的問題。 掃描電子顯微鏡之--分辨率限度的影響因素 http://coxem2010.blog.163.com/bl ... 757201052625545904/ |
3樓2011-06-25 22:13:05
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