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含樹

銅蟲 (初入文壇)

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[求助] 求教SnO2刻蝕的問題

看文獻(xiàn)上說采用57%的HI在75度下可以以150nm/min的速度把SnO2薄膜（非ITO）給刻蝕掉，但是我200nm左右厚的薄膜放了1個小時都沒辦法成功。請教用什么方法可把SnO2薄膜給刻掉？

[ Last edited by 含樹 on 2011-7-5 at 11:23 ]

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1樓 2011-07-05 10:46:22

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zhangjianr

鐵蟲 (小有名氣)

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含樹(金幣+1): 謝謝參與 2011-07-15 15:39:50

張建榮博士，氧化錫納米粉體的產(chǎn)業(yè)化，ATO導(dǎo)電粉體，氧化錫電熱膜，氧化錫發(fā)熱體，

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2樓2011-07-15 10:28:14

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