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basanwuyu銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助]關(guān)于退火與熱應(yīng)力及位錯(cuò)
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向大家請(qǐng)教兩個(gè)問(wèn)題： 1、晶體硅在生長(zhǎng)完成后，退火時(shí)間越長(zhǎng)，熱應(yīng)力釋放會(huì)越多，那么這樣的后果導(dǎo)致產(chǎn)生的位錯(cuò)會(huì)更多嗎？為什么？ 2、另外，位錯(cuò)密度越大，能說(shuō)明熱應(yīng)力就越大嗎？ 請(qǐng)蟲友們做個(gè)詳細(xì)的解答，不甚感激！ |
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jy176308
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2樓2011-08-04 22:35:32
jy176308
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【答案】應(yīng)助回帖
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basanwuyu(金幣+6): 謝謝！我們主要是多晶硅鑄錠，長(zhǎng)晶完成后，會(huì)在1375度下退火一段時(shí)間！我想問(wèn)這樣的退火后，應(yīng)力的釋放與對(duì)應(yīng)的此時(shí)新位錯(cuò)的產(chǎn)生情況？ 2011-08-05 10:44:55
lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:57:47
basanwuyu(金幣+6): 謝謝！我們主要是多晶硅鑄錠，長(zhǎng)晶完成后，會(huì)在1375度下退火一段時(shí)間！我想問(wèn)這樣的退火后，應(yīng)力的釋放與對(duì)應(yīng)的此時(shí)新位錯(cuò)的產(chǎn)生情況？ 2011-08-05 10:44:55
lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:57:47
| 以CZ法制備單晶硅為例，退火時(shí)緩慢釋放熱應(yīng)力不會(huì)產(chǎn)生額外位錯(cuò)，最終單晶硅中位錯(cuò)密度的高低不能說(shuō)明熱應(yīng)力的多少，籽晶質(zhì)量，生長(zhǎng)方向，縮頸工藝，等徑生長(zhǎng)控制，收尾工藝都會(huì)對(duì)位錯(cuò)密度產(chǎn)生影響 |
3樓2011-08-05 10:33:05
jy176308
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4樓2011-08-05 19:03:01
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lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:58:11
lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:58:11
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呵呵 既然樓主已經(jīng)思考研究過(guò)了 就向大家介紹一下經(jīng)驗(yàn)吧~~ 小本科跪謝~~ 我的理解是 1、退火時(shí)間長(zhǎng) 則內(nèi)應(yīng)力釋放多 那么應(yīng)該位錯(cuò)越少啊~~ 而且樓主的退火溫度那么高 應(yīng)該在再結(jié)晶溫度以上 那么重結(jié)晶以后也會(huì)減少位錯(cuò)~~ 2、我覺(jué)得兩者應(yīng)該呈正相關(guān)，但是無(wú)法理論說(shuō)明。 不妥之處， 還望多多指導(dǎo)~· |
5樓2011-11-21 00:41:03
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6樓2011-11-21 03:51:38
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
drg1984(金幣+1): 那還有其他辦法嗎？ 2011-12-30 18:16:19
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
drg1984(金幣+1): 那還有其他辦法嗎？ 2011-12-30 18:16:19
| 我做過(guò)單晶硅的應(yīng)力試驗(yàn)，單晶硅Cz法尾部經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)應(yīng)力片，如果單晶棱線斷了，還出現(xiàn)大量位錯(cuò)。為了消除應(yīng)力片（無(wú)斷棱），我做過(guò)600、700、800、900度硅片退火，應(yīng)力消除效果很不理想。而斷棱高位錯(cuò)段，應(yīng)力片數(shù)量明顯增大幾倍。所以，個(gè)人認(rèn)為，位錯(cuò)跟應(yīng)力關(guān)系很大。退火去應(yīng)力的效果不一定理想。 |
7樓2011-12-30 13:30:08
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8樓2013-03-28 14:14:07
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