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basanwuyu銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助]關(guān)于退火與熱應(yīng)力及位錯
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向大家請教兩個問題： 1、晶體硅在生長完成后，退火時間越長，熱應(yīng)力釋放會越多，那么這樣的后果導致產(chǎn)生的位錯會更多嗎？為什么？ 2、另外，位錯密度越大，能說明熱應(yīng)力就越大嗎？ 請蟲友們做個詳細的解答，不甚感激！ |
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5樓2011-11-21 00:41:03
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2樓2011-08-04 22:35:32
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【答案】應(yīng)助回帖
★
basanwuyu(金幣+6): 謝謝！我們主要是多晶硅鑄錠，長晶完成后，會在1375度下退火一段時間！我想問這樣的退火后，應(yīng)力的釋放與對應(yīng)的此時新位錯的產(chǎn)生情況？ 2011-08-05 10:44:55
lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:57:47
basanwuyu(金幣+6): 謝謝！我們主要是多晶硅鑄錠，長晶完成后，會在1375度下退火一段時間！我想問這樣的退火后，應(yīng)力的釋放與對應(yīng)的此時新位錯的產(chǎn)生情況？ 2011-08-05 10:44:55
lichun1210(金幣+1): 感謝回帖交流~ 2011-11-21 07:57:47
| 以CZ法制備單晶硅為例，退火時緩慢釋放熱應(yīng)力不會產(chǎn)生額外位錯，最終單晶硅中位錯密度的高低不能說明熱應(yīng)力的多少，籽晶質(zhì)量，生長方向，縮頸工藝，等徑生長控制，收尾工藝都會對位錯密度產(chǎn)生影響 |
3樓2011-08-05 10:33:05
jy176308
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4樓2011-08-05 19:03:01
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