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kanghe
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
wswswws(金幣+4, 基金HEPI+1): 2011-11-02 18:31:26
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基于平面電容傳感器的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法研究 負責人：王文 參與人：王文, 楊世錫, 李欣欣, 林謝昭, 盧科青, 高貫斌, 王碩, 章燁輝, 桂禮飛, 林鏗 金額：35萬 申請時間：2008 學(xué)科代碼：機械測試理論、方法與技術(shù)(E051102) 項目批準號：50875241 申請單位：浙江大學(xué) 研究類型：應(yīng)用基礎(chǔ)研究 摘要：大量程高分辨率二維位移精密檢測技術(shù)是微機電系統(tǒng)（MEMS）裝配與集成、集成電路制造與封裝、超精密加工、生物細胞操縱和納米技術(shù)等領(lǐng)域急需解決的基礎(chǔ)單元技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。本項目提出開展基于平面電容傳感器原理的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法研究：1)通過增加平面電容傳感器的定極板陣列單元個數(shù)，解決大量程問題；2)利用"游標差線"細分方法，結(jié)合MEMS加工工藝實現(xiàn)高分辨率、高精度位移測量；3)利用平面電容傳感器原理直接解耦測量二維直線位移，消除多軸累積誤差和阿貝誤差，具有在高分辨率下同時測量二維直線位移的能力。通過項目研究建立基于平面電容傳感器原理的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法，研制相應(yīng)的測量系統(tǒng)原型，為超精密（加工、測量、MEMS等）裝備中實現(xiàn)大量程高分辨率二維甚至多維位移測量提供理論指導(dǎo)與實現(xiàn)方法，具有重要的意義。 |
2樓2011-10-31 19:50:45
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