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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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wswswws

銀蟲 (正式寫手)

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專業(yè): 制造系統(tǒng)與自動化

[求助] 50875241

求助摘要的編號:

50875241

項(xiàng)目名稱:

基于平面電容傳感器的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法研究

項(xiàng)目類型:

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266分，一志愿電氣工程，本科材料，求材料專業(yè)調(diào)劑已經(jīng)有4人回復(fù)

1樓 2011-08-04 22:13:12

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kanghe

鐵桿木蟲 (正式寫手)

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專業(yè): 計(jì)算機(jī)軟件

【答案】應(yīng)助回帖

wswswws(金幣+4, 基金HEPI+1): 2011-11-02 18:31:26

基于平面電容傳感器的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法研究

負(fù)責(zé)人：王文參與人：王文, 楊世錫, 李欣欣, 林謝昭, 盧科青, 高貫斌, 王碩, 章燁輝, 桂禮飛, 林鏗

金額：35萬申請時(shí)間：2008 學(xué)科代碼：機(jī)械測試?yán)碚�、方法與技術(shù)(E051102) 項(xiàng)目批準(zhǔn)號：50875241

申請單位：浙江大學(xué) 研究類型：應(yīng)用基礎(chǔ)研究

摘要：大量程高分辨率二維位移精密檢測技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）裝配與集成、集成電路制造與封裝、超精密加工、生物細(xì)胞操縱和納米技術(shù)等領(lǐng)域急需解決的基礎(chǔ)單元技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。本項(xiàng)目提出開展基于平面電容傳感器原理的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法研究：1)通過增加平面電容傳感器的定極板陣列單元個(gè)數(shù)，解決大量程問題；2)利用"游標(biāo)差線"細(xì)分方法，結(jié)合MEMS加工工藝實(shí)現(xiàn)高分辨率、高精度位移測量；3)利用平面電容傳感器原理直接解耦測量二維直線位移，消除多軸累積誤差和阿貝誤差，具有在高分辨率下同時(shí)測量二維直線位移的能力。通過項(xiàng)目研究建立基于平面電容傳感器原理的大量程高分辨率二維位移直接解耦測量方法，研制相應(yīng)的測量系統(tǒng)原型，為超精密（加工、測量、MEMS等）裝備中實(shí)現(xiàn)大量程高分辨率二維甚至多維位移測量提供理論指導(dǎo)與實(shí)現(xiàn)方法，具有重要的意義。

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回復(fù)此樓

2樓2011-10-31 19:50:45