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titanhwei鐵桿木蟲 (知名作家)
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[交流]
低氣壓雙頻容性耦合等離子體物理研究取得新進(jìn)展 已有3人參與
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近日，大連理工大學(xué)王友年教授的研究課題組在雙頻容性耦合等離子體放電裝置上，分別利用雙懸浮靜電探針和移動(dòng)發(fā)射光譜探針進(jìn)行測(cè)量，觀察到電子反彈共振加熱現(xiàn)象的存在，并用Particle-in-cell/Monte-Carlo（PIC/MC）模擬方法進(jìn)行輔證。在固定其它放電參數(shù)下，通過調(diào)節(jié)放電間隙，發(fā)現(xiàn)等離子體密度及發(fā)射光譜隨間隙變化存在一個(gè)明顯的共振峰-。此外，還發(fā)現(xiàn)在雙頻（60MHz/2MHz）放電條件下，電子反彈共振行為可以在較大的放電間隙下發(fā)生，這一點(diǎn)與單頻放(60MHz)電情況下的行為明顯地不同。研究論文“Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas” 發(fā)表在Physical Review Letters（PRL 107, 055002 (2011)）。該項(xiàng)研究工作得到國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目的資助（2007-2010）。 反彈電子共振現(xiàn)象早在1991年就分別被Wood及Vender等人通過計(jì)算機(jī)模擬而預(yù)言，但一直沒有得到實(shí)驗(yàn)證實(shí)。主要原因是形成這種電子反彈共振現(xiàn)象的實(shí)驗(yàn)條件（低氣壓，小間隙）很苛刻，一般情況下很難被觀察到。該研究結(jié)果不僅有助于人們進(jìn)一步加深對(duì)低氣壓射頻放電條件下等離子體加熱機(jī)制的理解，同時(shí)對(duì)優(yōu)化半導(dǎo)體芯片刻蝕工藝中的放電參數(shù)的選擇也具有重要的實(shí)際意義。 http://www.nsfc.gov.cn/Portal0/InfoModule_375/34797.htm |
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2樓2011-08-13 10:47:04
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3樓2011-08-13 10:50:29
xiaowu759
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4樓2011-08-13 11:23:10
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