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titanhwei鐵桿木蟲 (知名作家)
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[交流]
低氣壓雙頻容性耦合等離子體物理研究取得新進展 已有3人參與
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近日，大連理工大學王友年教授的研究課題組在雙頻容性耦合等離子體放電裝置上，分別利用雙懸浮靜電探針和移動發(fā)射光譜探針進行測量，觀察到電子反彈共振加熱現(xiàn)象的存在，并用Particle-in-cell/Monte-Carlo（PIC/MC）模擬方法進行輔證。在固定其它放電參數(shù)下，通過調節(jié)放電間隙，發(fā)現(xiàn)等離子體密度及發(fā)射光譜隨間隙變化存在一個明顯的共振峰-。此外，還發(fā)現(xiàn)在雙頻（60MHz/2MHz）放電條件下，電子反彈共振行為可以在較大的放電間隙下發(fā)生，這一點與單頻放(60MHz)電情況下的行為明顯地不同。研究論文“Collisionless Bounce Resonance Heating in Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas” 發(fā)表在Physical Review Letters（PRL 107, 055002 (2011)）。該項研究工作得到國家自然科學基金重點項目的資助（2007-2010）。 反彈電子共振現(xiàn)象早在1991年就分別被Wood及Vender等人通過計算機模擬而預言，但一直沒有得到實驗證實。主要原因是形成這種電子反彈共振現(xiàn)象的實驗條件（低氣壓，小間隙）很苛刻，一般情況下很難被觀察到。該研究結果不僅有助于人們進一步加深對低氣壓射頻放電條件下等離子體加熱機制的理解，同時對優(yōu)化半導體芯片刻蝕工藝中的放電參數(shù)的選擇也具有重要的實際意義。 http://www.nsfc.gov.cn/Portal0/InfoModule_375/34797.htm |
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