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上官七七金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜沉積過程中的擴散速率和沉積速率比較
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| 用MC模擬薄膜生長時，擴散速率遠大于沉積速率（一個約1e-6量級，一個1e-11量級），在比較速率倒數(shù)時，總要發(fā)生數(shù)萬個擴散事件才能發(fā)生下一次沉積（至少在沉積之初是這樣），這樣導致計算量非常大（數(shù)萬個原子，如果再每個原子擴散數(shù)萬次就太可怕了），這個問題該怎么解決，又或者是我在建模各個事件概率模型時需要加入怎樣的考慮呢！謝謝大家的討論和幫助，祝天天向上！ |
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2樓2011-08-19 05:46:49
上官七七
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御劍江湖(金幣+2): 鼓勵 2011-08-26 20:51:51
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什么圖？可現(xiàn)在是算都算不出來結果 實在要花太長時間！ while(SurAtoms.size()<1e4) { //執(zhí)行沉積事件,原子總數(shù)加一 atomsCOOR = DeposEvent.Launch(Flag); atom.SetAtomPos(atomsCOOR[0],atomsCOOR[1],atomsCOOR[2]); SurAtoms.push_back(atom); //判斷沉積時間是否大于擴散所需時間 if(!depORdif.DepOrDif(SurAtoms,Flag))//bool變量為非,沉積時間大于擴散時間，執(zhí)行擴散事件 { delta = depORdif.GettDepo();//將沉積速率倒數(shù)賦予delta while(delta>0) { index = SurDif.DeterminWhichClass(SurAtoms,Flag);//選擇執(zhí)行擴散事件的原子 SurAtoms[index].surfDiffuse(Flag);//執(zhí)行擴散事件，并更新flag列表 delta -= (1/SurDif.GetTotal());//沉積時間進行更新，減去擴散時間 } } |
3樓2011-08-19 15:51:50
上官七七
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沉積事件發(fā)生的時間為 tDepo = 1/(rateDepo*dimensionX*dimensionY)； 擴散事件發(fā)生時間為： tDiff = 1/Σ(V)；V為不同擴散事件發(fā)生的速率 假定沉積速率為10ML/s，dimensionX = dimensionY =10mm, 則tDepo約為0.1cm^2/s^-1 擴散速率根據(jù)文獻中采用的表面原子擴散速率與配位數(shù)關系，#不同配位原子數(shù)時的擴散速率前置因子(cm^2/s)，順序為NN=0，1，2，3 4.6e-4 5.2e-3 4.4e-3 1.0e-3 #不同配位原子數(shù)時的擴散激活能(eV)，順序為NN=0，1，2，3 0.1 0.53 0.28 0.60 由于是個指數(shù)關系，結果那個擴散能影響非常大，算出來tDif的量級約為1e-6 |
4樓2011-08-19 16:00:38
5樓2011-08-26 09:40:07
上官七七
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6樓2011-08-26 20:50:52
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